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一種適用于大腔體的真空隔離閥
- 英文名稱：A vacuum isolating valve suitable for large cavity
- 專利號：ZL 202210601309.0
- 專利類別：發(fā)明授權
- 專利證書號：
- 申請?zhí)枺?/span>CN202210601309.0
- 發(fā)明人：馮雨; 朱東輝; 夏遠光; 耿艷勝; 任清勇; 沈俊英; 羅偉; 孫遠; 高偉; 童欣
- 其它發(fā)明人：
- 申請日期：2022-05-30
- 授權日期：2025-01-24
