一種基于液態(tài)工質(zhì)的可變溫氣體供應(yīng)系統(tǒng)及方法
- 英文名稱：A variable temperature gas supply system and method based on liquid working fluid
- 專利號：ZL 201910836164.0
- 專利類別：發(fā)明授權(quán)
- 專利證書號：
- 申請?zhí)枺?/span>CN201910836164.0
- 發(fā)明人：張祥鎮(zhèn); 徐妙富; 葛銳
- 其它發(fā)明人：
- 申請日期：2019-09-05
- 授權(quán)日期：2024-12-31
