一種低增益三維插入式SiC探測器芯片及其制備方法
- 英文名稱：A low-gain three-dimensional plug-in SiC detector chip and its preparation method
- 專利號：ZL 202111248022.6
- 專利類別：發(fā)明授權
- 專利證書號：
- 申請?zhí)枺?/span>CN202111248022.6
- 發(fā)明人：史欣; 譚雨航; 王聰聰; 楊濤; 張希媛; 劉凱
- 其它發(fā)明人：
- 申請日期：2021-10-26
- 授權日期：2024-10-11
