改變薄膜生長模式和表面形貌的倏逝波調(diào)制器及調(diào)制方法
- 英文名稱：The present invention relates to evanescent wave modulator capable of changing film growth mode and surface topography and its modulation method
- 專利號：ZL 202310514620.6
- 專利類別：發(fā)明授權(quán)
- 專利證書號：
- 申請?zhí)枺?/span>CN202310514620.6
- 發(fā)明人：王煥華; 沈治邦; 陳雨; 郭望果
- 其它發(fā)明人：
- 申請日期：2023-05-09
- 授權(quán)日期：2024-10-11
