一種光柵周期失配設(shè)計(jì)的光柵干涉波前檢測方法及裝置
- 英文名稱：A grating interference wavefront detection method and device based on grating period mismatch design
- 專利號：ZL 202310514944.X
- 專利類別：發(fā)明授權(quán)
- 專利證書號：
- 申請?zhí)枺?/span>CN202310514944.X
- 發(fā)明人：劉方; 李明
- 其它發(fā)明人：
- 申請日期：2023-05-09
- 授權(quán)日期：2024-09-03
