一種多層膜單色器或反射鏡的冷卻結(jié)構(gòu)
- 英文名稱:A cooling structure for multilayer film monochromator or reflector
- 專利號:ZL 202323054433.9
- 專利類別:實(shí)用新型
- 專利證書號:
- 申請?zhí)枺?/span>CN202323054433.9
- 發(fā)明人:梁好; 張云升; 高立丹; 盧遠(yuǎn)舒; 張兵兵; 洪振; 刁千順; 李明; 盛偉繁
- 其它發(fā)明人:
- 申請日期:2023-11-13
- 授權(quán)日期:2024-06-07