一種超導(dǎo)腔等離子體清洗的電路結(jié)構(gòu)
- 英文名稱：A superconductive cavity plasma cleaning circuit structure
- 專利號(hào)：ZL 202320077498.6
- 專利類別：實(shí)用新型
- 專利證書(shū)號(hào)：
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>CN202320077498.6
- 發(fā)明人：張聰; 王云; 劉華昌; 吳小磊; 陳強(qiáng); 李阿紅; 瞿培華; 李波; 樊夢(mèng)旭; 周文中; 楊鑰; 孔啟宇
- 其它發(fā)明人：
- 申請(qǐng)日期：2023-01-10
- 授權(quán)日期：2023-10-27
