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超導(dǎo)腔等離子體清洗氣路裝置
- 英文名稱：Superconducting cavity plasma cleaning gas path device
- 專利號：ZL 202222986081.X
- 專利類別：實用新型
- 專利證書號：
- 申請?zhí)枺?/span>CN202222986081.X
- 發(fā)明人：張聰; 王云; 劉華昌; 吳小磊; 陳強(qiáng); 李阿紅; 瞿培華; 李波; 樊夢旭; 周文中; 楊鑰
- 其它發(fā)明人：
- 申請日期：2022-11-08
- 授權(quán)日期：2023-09-19
