專利
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超導腔等離子體清洗氣路裝置

  • 英文名稱:Superconducting cavity plasma cleaning gas path device
  • 專利號:ZL 202222986081.X
  • 專利類別:實用新型
  • 專利證書號:
  • 申請?zhí)枺?/span>CN202222986081.X
  • 發(fā)明人:張聰; 王云; 劉華昌; 吳小磊; 陳強; 李阿紅; 瞿培華; 李波; 樊夢旭; 周文中; 楊鑰
  • 其它發(fā)明人:
  • 申請日期:2022-11-08
  • 授權日期:2023-09-19
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