一種LIGA技術(shù)的埋絲光刻膠片及其制備方法
- 英文名稱：Embedded wire photoetching film of LIGIGA technology and preparation method thereof
- 專利號(hào)：ZL 202010150760.6
- 專利類別：發(fā)明授權(quán)
- 專利證書號(hào)：
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>CN202010150760.6
- 發(fā)明人：伊福廷; 劉靜; 張?zhí)鞗_; 王波
- 其它發(fā)明人：
- 申請(qǐng)日期：2020-03-06
- 授權(quán)日期：2021-01-01
