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一種短脈沖曝光裝置
- 英文名稱：Short pulse exposure device
- 專利號(hào)：ZL 202020968742.4
- 專利類別：實(shí)用新型
- 專利證書號(hào)：
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>CN202020968742.4
- 發(fā)明人：默廣; 周愛玉; 吳忠華; 邢雪青; 李志宏; 姚磊; 陳中軍; 鄭黎榮; 施展
- 其它發(fā)明人：
- 申請(qǐng)日期：2020-06-01
- 授權(quán)日期：2020-12-15
