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半導體氣敏傳感器及其制備方法

  • 英文名稱:Semiconductor gas sensor and its preparation method
  • 專利號:ZL 201610179398.9
  • 專利類別:發(fā)明授權
  • 專利證書號:
  • 申請?zhí)枺?/span>CN201610179398.9
  • 發(fā)明人:劉靜; 伊福廷; 張?zhí)鞗_; 王波; 王雨婷
  • 其它發(fā)明人:
  • 申請日期:2016-03-25
  • 授權日期:2019-02-15
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