一種用于LIGA技術(shù)的光刻膠膜與基片的復(fù)合結(jié)構(gòu)的制備方法
- 英文名稱:A LIGA technology used for the substrate of the photoresist film preparation method of composite structure
- 專利號:ZL 201310380360.4
- 專利類別:發(fā)明授權(quán)
- 專利證書號:
- 申請?zhí)枺?/span>CN201310380360.4
- 發(fā)明人:伊福廷
- 其它發(fā)明人:
- 申請日期:2013-08-28
- 授權(quán)日期:2015-11-11